| Индекс УДК | 547 |
|
Plasma parameters and densities of active species in mixtures of fluorocarbon gases with argon and оxygen A. M. Efremov, V. B. Betelin, K. A. Mednikov, Kwang-Ho Kwon |
|
| Аннотация | Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 64, вып. 7. - С. 46-53 |
