| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/690376759 |
| Дата корректировки | 11:22:48 16 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.11.46599.21 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Охапкин, А. И. | |
|
Плазмохимическое травление арсенида галлия в индуктивно-связанной плазме C[2]F[5]Cl Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | цв. ил. |
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
| Аннотация | Впервые проведено плазмохимическое травление арсенида галлия в индуктивно-связанной плазме хлорпентафторэтана (C[2]F[5]Cl) с учeтом пассивации поверхности продуктами распада реагента. Исследованы элементный состав осаждeнных покрытий, их плотность и морфологические свойства. Установлено, что наиболее гладкий профиль травления реализуется при использовании большого потока фреона и малой eмкостной мощности. В таком режиме анизотропия травления сохраняется на глубине 7 мкм при скорости процесса 230 нм/мин. |
| Ключевые слова | плазмохимическое травление |
|
арсенид галлия хлорпентафторэтан индуктивно-связанная плазма анизотропия травления |
|
|
Юнин, П. А. Дроздов, М. Н. Краев, С. А. Скороходов, Е. В. Шашкин, В. И. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 11. - С. 1362-1365 |
|
| Имя макрообъекта | Охапкин_плазмохимическое |
| Тип документа | b |
