Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Плазмохимическое травление арсенида галлия в индуктивно-связанной плазме C[2]F[5]Cl
Поиск

Плазмохимическое травление арсенида галлия в индуктивно-связанной плазме C[2]F[5]Cl

Авторы: Охапкин, А. И. Юнин, П. А. Дроздов, М. Н. Краев, С. А. Скороходов, Е. В. Шашкин, В. И.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Плазмохимическое травление арсенида галлия в индуктивно-связанной плазме C[2]F[5]Cl
Электронный ресурс
Ключевые слова плазмохимическое травление
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 11. - С. 1362-1365
Имя макрообъекта Охапкин_плазмохимическое