| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/687428883 |
| Дата корректировки | 8:35:53 13 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.02.45443.8685 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Лубянский, Я. В. | |
|
Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия Электронный ресурс |
|
| Effect of oxygen concentration in a gas plasma-forming mixture on the optical and structural properties of aluminum nitride films | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 22 назв. |
| Аннотация | Проводятся исследования влияния содержания кислорода в плазмообразующей среде в процессах синтеза методом реактивного ионно-плазменного распыления на структуру и свойства пленок AlNO (оксинитридов алюминия). Измеренные показатели преломления синтезированных пленок AlNO находятся в диапазоне 1.76-2.035 и зависят от концентрации кислорода в плазмообразующей газовой смеси, а именно с увеличением доли кислорода показатель преломления уменьшается. Показано, что пленки AlN, синтезированные в плазме азота, имеют поликристаллическую текстурированную структуру. Повышение содержания кислорода приводит к образованию аморфной фазы. |
| Служебное примечание | Золотарёв, В. В. |
| Ключевые слова | пленки нитрида алюминия |
|
нитрид алюминия плазмообразующие смеси газов оптические свойства пленок структурные свойства пленок нанокристаллиты аморфные пленки оксинитриды алюминия |
|
|
Бондарев, А. Д. Сошников, И. П. Берт, Н. А. Золотарев, В. В. Кириленко, Д. А. Котляр, К. П. Пихтин, Н. А. Тарасов, И. С. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 2. - С. 196-200 |
|
| Имя макрообъекта | Лубянский_влияние |
| Тип документа | b |
