Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия - Статьи - Базы данных - БГТУ

Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия

Авторы: Лубянский, Я. В. Золотарёв, В. В. Бондарев, А. Д. Сошников, И. П. Берт, Н. А. Золотарев, В. В. Кириленко, Д. А. Котляр, К. П. Пихтин, Н. А. Тарасов, И. С.

Подробная информация

Индекс УДК	621.315.592
	Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия Электронный ресурс
Аннотация	Проводятся исследования влияния содержания кислорода в плазмообразующей среде в процессах синтеза методом реактивного ионно-плазменного распыления на структуру и свойства пленок AlNO (оксинитридов алюминия). Измеренные показатели преломления синтезированных пленок AlNO находятся в диапазоне 1.76-2.035 и зависят от концентрации кислорода в плазмообразующей газовой смеси, а именно с увеличением доли кислорода показатель преломления уменьшается. Показано, что пленки AlN, синтезированные в плазме азота, имеют поликристаллическую текстурированную структуру. Повышение содержания кислорода приводит к образованию аморфной фазы.
Ключевые слова	пленки нитрида алюминия
	Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 2. - С. 196-200
Имя макрообъекта	Лубянский_влияние