| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/686076185 |
| Дата корректировки | 16:48:47 27 сентября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.09.44880.8561 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Соболев, Н. А. | |
|
Влияние температуры измерения на люминесцентные свойства (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода Электронный ресурс |
|
| Influence of the measurement temperature on luminescence properties of the (113) defects in oxygen-implanted silicon | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 10 назв. |
| Аннотация | Исследовано влияние температуры измерения в диапазоне 5-130K на спектры ФЛ (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода с энергией 350 кэВ и дозой 3.7 · 10{14} см{-2} и отожженном при 700°C в течение 1 ч в хлорсодержащей атмосфере. Температурная зависимость интенсивности линии характеризуется участками возгорания интенсивности с энергией 23.1 мэВ и гашения интенсивности с энергиями 41.9 и 178.3 мэВ. С ростом температуры линии сдвигаются в длинноволновую сторону, а их полуширина увеличивается. |
| Ключевые слова | температуры измерения |
|
имплантированные ионы кислорода кремний люминесцентные свойства |
|
|
Калядин, А. Е. Шек, Е. И. Штельмах, К. Ф. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 9. - С. 1182-1184 |
|
| Имя макрообъекта | Соболев_влияние |
| Тип документа | b |
