| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Влияние температуры измерения на люминесцентные свойства (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Исследовано влияние температуры измерения в диапазоне 5-130K на спектры ФЛ (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода с энергией 350 кэВ и дозой 3.7 · 10{14} см{-2} и отожженном при 700°C в течение 1 ч в хлорсодержащей атмосфере. Температурная зависимость интенсивности линии характеризуется участками возгорания интенсивности с энергией 23.1 мэВ и гашения интенсивности с энергиями 41.9 и 178.3 мэВ. С ростом температуры линии сдвигаются в длинноволновую сторону, а их полуширина увеличивается. |
| Ключевые слова | температуры измерения |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 9. - С. 1182-1184 |
|
| Имя макрообъекта | Соболев_влияние |
