Поиск

Исследование морфологии поверхности, электрофизических характеристик и спектров фотолюминесценции эпитаксиальных плёнок GaAs на подложках GaAs (110)

Авторы: Галиев, Г. Б. Пушкарёв, С. С. Климов, Е. А. Зайцев, А. А. Пушкарев, С. С. Клочков, А. Н.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/683816420
Дата корректировки 13:00:20 1 сентября 2021 г.
10.21883/OS.2020.07.49556.18-20
Служба первич. каталог. Феллер
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 535.33
Галиев, Г. Б.
Исследование морфологии поверхности, электрофизических характеристик и спектров фотолюминесценции эпитаксиальных плёнок GaAs на подложках GaAs (110)
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 23 назв.
Аннотация Представлены результаты исследований электрофизических и фотолюминесцентных характеристик, а также морфологии поверхности эпитаксиальных пленок GaAs, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках GaAs с кристаллографической ориентацией (110). Легированные кремнием эпитаксиальные слои были выращены в широком диапазоне температур роста от 410 до 680°С и при соотношении потоков мышьяка и галлия от 14 до 84. Методом атомно-силовой микроскопии определены диапазоны условий роста, при которых поверхность эпитаксиальных пленок получается наиболее гладкой. С помощью анализа спектров фотолюминесценции выращенных образцов интерпретировано поведение атомов кремния в GaAs с учетом занятия ими узлов Ga или As, т. е. с учетом возникновения точечных дефектов Si[Ga] и Si[As], а также образования вакансий мышьяка и галлия V[As] и V[Ga].
Пушкарёв, С. С.
GaAs (110)
молекулярно-лучевая эпитаксия
спектроскопия фотолюминесценции
амфотерность
морфология поверхности
фотолюминесценция
эпитаксиальные пленки
Климов, Е. А.
Зайцев, А. А.
Пушкарев, С. С.
Клочков, А. Н.
Оптика и спектроскопия
2020
Т. 128, вып. 7. - С. 877-884
Имя макрообъекта Галиев_исследование
Тип документа b