| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/681906253 |
| Дата корректировки | 10:52:04 10 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.12.48558.22ks | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Сергеева, О. Н. | |
|
Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 24 назв. |
| Аннотация | Исследуются диэлектрические и полярные свойства тонких пленок нитрида алюминия (AlN), эпитаксиально выращенных на различно ориентированных кремниевых подложках p-типа проводимости с буферным подслоем карбида кремния (SiC), а также на вицинальных плоскостях. По результатам исследований полярных свойств двумя независимыми методами - динамического пироэффекта и силовой микроскопии пьезоотклика, показано, что использование буферного слоя SiC существенно улучшает полярные свойства тонких слоев нитрида алюминия. |
| Ключевые слова | пленки |
|
тонкие пленки нитрид алюминия подложки кремниевые подложки вицинальные подложки буферные слои карбид кремния диэлектрические свойства полярные свойства пироэлектрический эффект пьезоэлектрический эффект |
|
| Другие авторы | Солнышкин, А. В. |
|
Киселев, Д. А. Ильина, Т. С.. Кукушкин, С. А. Шарофидинов, Ш. Ш. Каптелов, Е. Ю. Пронин, И. П. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 12. - С. 2379-2384 |
| Имя макрообъекта | Сергеева_влияние |
| Тип документа | b |
