| Индекс УДК | 539.21 |
|
Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | пленки |
| Другие авторы | Солнышкин, А. В. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 12. - С. 2379-2384 |
| Имя макрообъекта | Сергеева_влияние |
