Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия
Сергеева, О. Н., Солнышкин, А. В., Киселев, Д. А., Ильина, Т. С.., Кукушкин, С. А., Шарофидинов, Ш. Ш., Каптелов, Е. Ю., Пронин, И. П.
Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика твердого тела .-
2019 .-
Т. 61, вып. 12. - С. 2379-2384 .-
Сергеева_влияние
