| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/671646198 |
| Дата корректировки | 16:23:19 13 апреля 2021 г. |
| 10.15372/KhUR2019140 | |
| Служба первич. каталог. | Феллер |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 538.911, 538.915 |
| Мансуров, В. Г. | |
|
Физико-химические аспекты формирования кристаллического слоя AlN на поверхности (0001)Al[2]O[3] Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 16 назв. |
| Аннотация | Исследована температурная зависимость образования двумерной кристаллической фазы AlN на поверхности (0001)Al[2]O[3] под потоком аммиака. В температурной зависимости скорости процесса экспериментально обнаружены две области. В области относительно низких температур (T < 940°C) скорость образования AlN лимитируется химическими реакциями. Предложена кинетическая схема процесса, определены эффективные значения кинетических констант основных стадий процесса. При более высоких температурах (T > 940°C) образование упорядоченной фазы AlN определяется непрерывным двумерным фазовым переходом в решеточном газе образовавшихся на поверхности ячеек AlN. Для описания процесса предложена трехпараметрическая изотерма. Хорошее согласие между теоретическими и экспериментальными изотермами получено при следующих параметрах латерального взаимодействия между заполненными ячейками AlN в решеточном газе: E[i] = 0.725 эВ – латеральное отталкивание соседних заполненных ячеек AlN; U = –0.725 эВ – энергия стабилизации, возникающая при образовании заполненной ячейки; V = 0.09 эВ – энергетические затраты для создания промежуточной метастабильной ячейки решеточного газа. Критическая температура фазового перехода однозначно определяется найденными параметрами латерального взаимодействия и составляет 795°C. Наблюдаемый фазовый переход в решеточном газе AlN носит непрерывный характер, так как эксперименты проводились при температурах выше критической. |
| Журавлёв, К. С. | |
|
кинетика нитридизации двумерная фаза AlN решеточный газ латеральное взаимодействие фазовый переход кристаллический слой AIN формирование кристаллического слоя |
|
|
Галицын, Ю. Г. Михайлов, Ю. И. Малин, Т. В. Милахин, Д. С. Журавлев, К. С. |
|
|
Химия в интересах устойчивого развития 2019 Т. 27, № 3. - С. 317-322 |
|
| Имя макрообъекта | Мансуров_физико-химические |
| Тип документа | b |
