| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch20_to63_vy9_ss21_ad1 |
| Дата корректировки | 10:56:43 30 октября 2020 г. |
| Кодируемые данные | 200930s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch20_to63_vy9_ss21_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 544.6 |
| Индекс ББК | 24.57 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, A. M. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
|
Features of SiO[2] reactive-ion etching kinetics in CF[4]+ Ar + O[2] and C[4]F[8] + Ar + O[2] gas mixtures A. M. Efremov, A. M. Sobolev, Kwang-Ho Kwon |
|
|
Особенности кинетики реактивно-ионного травления SiO[2] в смесях CF[4] + Ar + O[2] и C[4]F[8] + Ar + O[2] rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис., 1 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 27 (24 назв.) |
| Аннотация | Проведено исследование влияния соотношения Ar/O[2] на характеристики газовой фазы и кинетику травления SiO[2] в плазме смесей CF[4] + Ar + O[2] и C[4]F[8] + Ar + O[2] в условиях индукционного ВЧ 13, 56 МГц разряда. Показано, что обе газовые системы характеризуются близкими параметрами электронной и ионной компонент плазмы, но существенно различаются по кинетике нейтральных частиц, особенно в присутствии O[2]. |
|
Химия AR-MARS Электрохимия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
травление полимеризация потоки атомов фтора потоки энергии ионов эффективность вероятность взаимодействия кинетика травления гетерогенные процессы фторуглеродные компоненты деструкция оксидных связей |
|
Sobolev, A. M. Ивановский государственный химико-технологический университет 070 |
|
| Другие авторы |
Kwang-Ho Kwon Korea University 070 |
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 63, вып. 9. - С. 21-27 |
|
RU 64417093 20200930 RCR |
|
|
RU 64417093 20200930 |
|
|
RU AR-MARS 20200930 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20200930 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2020 63 9 21 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 Соболев, А. М. Александр Михайлович 070 |
|
|
Kwang-Ho Kwon 070 |
