| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch19_to62_vy2_ss31_ad1 |
| Дата корректировки | 12:55:46 29 апреля 2019 г. |
| Кодируемые данные | 190402s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch19_to62_vy2_ss31_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
eng eng |
| Индекс УДК | 544 |
| Индекс ББК | 24.5 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Efremov, A. M. z01710 070 |
|
|
Plasma parameters, densities of active species and etching kinetics in C[4]F[8]+Ar gas mixture [Текст] A. M. Efremov, D. B. Murin, K. H. Kwon |
|
|
Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси С[4]F[8]+Ar rus |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 4 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 36-37 (24 назв.) |
| Аннотация | В данной работе представлены результаты комбинированных (экспериментальных и модельных) исследований характеристик газовой фазы и кинетики травления Si и SiO[2] в плазме смеси C[4]F[8] + Ar. Эксперименты проводились при постоянном общем давлении смеси (p = 6 мтор), вкладываемой мощности (W = 900 Вт) и мощности смещения (Wdc = 200 Вт), при этом соотношение компонентов C[4]F[8]/Ar варьировалось в диапазоне 0-75% Ar. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
скорости реакции энергия ионов концентрация потоки травление полимеризация кинетика травления кинетика плазмохимических процессов стационарная концентрация частиц параметры плазмы газовые фазы травления |
|
Murin, D. B. 070 z02710 Kwon, K. H. 070 z03710 |
|
|
Ивановский государственный химико-технологический университет z01100 Иваново Вторичная ответственность Ивановский государственный химико-технологический университет z02700 Иваново Вторичная ответственность Университет Кореи z03700 Корея Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 62, вып. 2. - С. 31-37 |
|
RU 64417093 20190402 RCR |
|
|
RU 64417093 20190402 |
|
|
RU AR-MARS 20190402 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20190402 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2019 62 2 31 1 |
|
| 421 | |
| Химия | |
|
Ефремов, А. М. Александр Михайлович 070 z01712 Мурин, Д. Б. Дмитрий Борисович 070 z02712 |
|
|
Кванг Хо Квон 070 z03712 |
