| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/594397366 |
| Дата корректировки | 9:37:07 26 декабря 2018 г. |
| Кодируемые данные | 181129s2018||||by |||||||||||000|||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
|
rus rus |
|
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Индекс ББК | 31.233 |
|
070 z01710 Коршунов, Ф. П. член-корреспондент Федор Павлович |
|
|
Влияние положения уровня Ферми на отжиг дефекта межузельный атом углерода в кремнии Ф. П. Коршунов [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 544 (15 назв.) |
| Аннотация | Методом DLTS изучено влияние зарядового состояния межузельного углерода (C[i]) на кинетику его отжига в облученных быстрыми электронами и альфа-частицами n{+}-p-структурах, изготовленных на кристаллах кремния, легированных бором. |
| Основная рубрика |
Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия |
| Ключевые слова |
углерод кремний облучение отжиг уровень Ферми Ферми уровень |
|
070 z02710 Ластовский, С. Б. кандидат физико-математических наук Станислав Брониславович 070 z03710 Якушевич, А. С. Анна Сергеевна 070 z04710 Маркевич, В. П. кандидат физико-математических наук Владимир Павлович 070 z05710 Мурин, Л. И. кандидат физико-математических наук Леонид Иванович |
|
|
z01100 НПЦ НАН Беларуси по материаловедению z02700 НПЦ НАН Беларуси по материаловедению z03700 НПЦ НАН Беларуси по материаловедению z04700 Университет г. Манчестер z05700 НПЦ НАН Беларуси по материаловедению |
|
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 62, № 5. - С. 540-545 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
| ISSN | 1561-8323 |
|
RU 863 |
|
| Тип документа | b |
| Физика |
