| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Влияние положения уровня Ферми на отжиг дефекта межузельный атом углерода в кремнии Ф. П. Коршунов [и др.] |
|
| Аннотация | Методом DLTS изучено влияние зарядового состояния межузельного углерода (C[i]) на кинетику его отжига в облученных быстрыми электронами и альфа-частицами n{+}-p-структурах, изготовленных на кристаллах кремния, легированных бором. |
| Ключевые слова |
углерод кремний облучение отжиг уровень Ферми Ферми уровень |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 62, № 5. - С. 540-545 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
