| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps18_to85_no1_ss161_ad1 |
| Дата корректировки | 11:52:59 27 апреля 2018 г. |
| Кодируемые данные | 180416s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps18_to85_no1_ss161_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 539.19 |
| Индекс ББК | 22.36 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Тихий, А. А. 070 |
|
|
Учет сложной структуры поверхности при эллипсометрических исследованиях влияния режимов магнетронного распыления на рост и оптические свойства пленок In[2]O[3] [Текст] А. А. Тихий [и др.] |
|
| Библиография | Библиогр.: с. 167 (18 назв. ) |
| Аннотация | Практически показана эффективность привлечения дополнительной информации о величине оптического пропускания при решении обратной задачи эллипсометрии минимизационным методом для допированных и недопированных оловом пленок In[2]O[3] на подложках Al[2]O[3] (012). Этот подход позволяет однозначно определять толщину и показатель преломления тонких пленок с шероховатой поверхностью. Проведено сравнение результатов решения обратной задачи в рамках одно-, двух- и многослойной моделей, при этом последняя позволяет наилучшим образом описать экспериментальные данные и получить корректные параметры образцов. Зависимости свойств исследуемых пленок, полученных при различных режимах магнетронного напыления, найденные с использованием вышеописанных методов и моделей, не противоречат общим представлениям о формировании пленок данного материала. |
|
Физика AR-MARS Молекулярная физика в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
магнетронное напыление оксид индия оптические свойства пленок оптическое пропускание структура поверхности тонкопленочные покрытия эллипсометрия |
|
Николаенко, Ю. М. 070 Грицких, В. А. 070 Свиридова, Е. А. 070 Мурга, В. В. 070 Жихарева, Ю. И. 070 Жихарев, И. В. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 85, № 1. - С. 161-167 |
|
RU 43013090 20180416 RCR |
|
|
RU 43013090 20180416 |
|
|
RU AR-MARS 20180416 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20180416 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2018 85 1 161 1 |
|
| 718 |
