| Индекс УДК | 539.19 |
|
Учет сложной структуры поверхности при эллипсометрических исследованиях влияния режимов магнетронного распыления на рост и оптические свойства пленок In[2]O[3] [Текст] А. А. Тихий [и др.] |
|
| Аннотация | Практически показана эффективность привлечения дополнительной информации о величине оптического пропускания при решении обратной задачи эллипсометрии минимизационным методом для допированных и недопированных оловом пленок In[2]O[3] на подложках Al[2]O[3] (012). Этот подход позволяет однозначно определять толщину и показатель преломления тонких пленок с шероховатой поверхностью. Проведено сравнение результатов решения обратной задачи в рамках одно-, двух- и многослойной моделей, при этом последняя позволяет наилучшим образом описать экспериментальные данные и получить корректные параметры образцов. Зависимости свойств исследуемых пленок, полученных при различных режимах магнетронного напыления, найденные с использованием вышеописанных методов и моделей, не противоречат общим представлениям о формировании пленок данного материала. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 85, № 1. - С. 161-167 |
