-
Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме
Шаяпов, В. Р., Чагин, М. Н., Румянцев, Ю. М.
Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме, [Текст]
ил., табл.
Неорганические материалы, 2016, Т. 52, № 6. - С. 684-690
-
Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда
Румянцев, Ю. М., Чагин, М. Н., Шаяпов, В. Р., Юшина, И. В., Кичай, В. И., Косинова, М. Л.
Синтез и свойства пленок, образующихся из паров тетраметилсилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ разряда, [[Текст]], Румянцев Ю. М. [и др.]
ил.
// Физика и химия стекла .-
2018 .-
Т. 44, № 3. - С. 223-234 .-
-
Синтез тонких пленок карбонитрида кремния из гексаметилдисилазана в реакторе с индуктивно-связанной плазмой
Румянцев, Ю. М., Чагин, М. Н., Косинова, М. Л., Кузнецов, Ф. А.
ил.
// Неорганические материалы .-
2015 .-
Т. 51, № 9. - С. 974-980 .-
