-
Анализ микроструктуры полировальных материалов на основе полиуретанов
Терашкевич, Д. И., Бокова, Е. С., Гинзбург, А. С., Коваленко, Г. М.
Анализ микроструктуры полировальных материалов на основе полиуретанов, Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, А. С. Гинзбург, Г. М. Коваленко
// Пластические массы .-
2021 .-
№ 1/2. - С. 3-6 .-
-
Разработка жестких полировальных материалов для применения в микроэлектронике
Терашкевич, Д. И., Бокова, Е. С., Евсюкова, Н. В.
Разработка жестких полировальных материалов для применения в микроэлектронике, Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, Н. В. Евсюкова
ил., табл.
2024, № 3/4. - С. 39-44, Пластические массы, 0554-2901
-
Разработка эластичных полировальных материалов для процесса химико-механической планаризации
Терашкевич, Д. И., Бокова, Е. С., Коваленко, Г. М.
Разработка эластичных полировальных материалов для процесса химико-механической планаризации, Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, Г. М. Коваленко
ил., табл.
// Пластические массы .-
2023 .-
№ 3/4. - С. 44-48 .-
