| Индекс УДК | 678.029.76/.77 |
|
Разработка жестких полировальных материалов для применения в микроэлектронике Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, Н. В. Евсюкова |
|
| Ключевые слова |
вспенивание твердотельное математические модели микроэлектроника модуль упругости полировальные материалы полиуретаны термопластичные полиэфируретаны пористая структура порообразование твердотельное вспенивание температура вспенивания термопластичные полиуретаны химико-механическая планаризация |
|
2024 № 3/4. - С. 39-44 Пластические массы 0554-2901 |
