| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/770299218 |
| Дата корректировки | 9:05:00 31 июля 2024 г. |
| Кодируемые данные | 240529s2024||||ru ||||||||||#000|||rus#d |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 678.029.76/.77 |
| Индекс ББК | 35.715 |
|
070 Терашкевич, Д. И. Российский государственный университет им. А. Н. Косыгина |
|
|
Разработка жестких полировальных материалов для применения в микроэлектронике Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, Н. В. Евсюкова |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 43-44 (11 назв.) |
| Аннотация | В работе приведены результаты разработки условий получения жестких полировальных материалов на основе растворов полиэфируретанов для химико-механической планаризации полупроводниковых кремниевых пластин. |
|
ТУ 6-05-221-526-82 /технические условия/ Полиуретан термопластичный тип Витур Т /технические условия/ ГОСТ 24621-2015 (ISO 868:2003) /межгосударственный стандарт/ |
|
| Пластмассы и эбонит. Определение твердости при вдавливании с помощью дюрометра (твердость по Шору) /межгосударственный стандарт/ | |
|
Химическая технология Полимеры и пластмассы на основе элементоорганических соединений |
|
| Ключевые слова |
вспенивание твердотельное математические модели микроэлектроника модуль упругости полировальные материалы полиуретаны термопластичные полиэфируретаны пористая структура порообразование твердотельное вспенивание температура вспенивания термопластичные полиуретаны химико-механическая планаризация |
|
070 Бокова, Е. С. Российский государственный университет им. А. Н. Косыгина 070 Евсюкова, Н. В. Российский государственный университет им. А. Н. Косыгина |
|
|
2024 № 3/4. - С. 39-44 Пластические массы 0554-2901 |
|
| Тип документа | b |
| Применение |
