| Индекс УДК |
621.3.049.77 678.674 |
|
Разработка эластичных полировальных материалов для процесса химико-механической планаризации Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, Г. М. Коваленко |
|
| Аннотация | Разработаны условия получения эластичных полировальных материалов на основе растворов полиэфируретанов для химико-механической планаризации полупроводниковых кремниевых пластин. Предложены условия модификации нетканых материалов, пропитанных растворами полиэфируретанов, путем их дополнительной обработки смесью ДМФА с водой. В результате реализации предложенной технологии получены образцы, имеющие волокнисто-пористую структуру, идентичную структуре материала TWI-817. Показано, что в разработанных полировальных материалах полиуретан обеспечивает адгезионную связь полиэфирных волокон поверхностного и объемных слоев, а также покрывает поверхность синтетических волокон, тем самым уменьшая вероятность их прилипания к поверхности полировальных пластин. Благодаря дополнительной обработке полученные полировальные материалы практически не имеют микротрещин, обеспечивают более длительный срок эксплуатации, приводят к более равномерному профилю полировки и способствуют получению полупроводниковых пластин с меньшим количеством дефектов. |
| Название источника | Пластические массы |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | № 3/4. - С. 44-48 |
