| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | plma23_no3/4_ss44_ad1 |
| Дата корректировки | 11:21:51 31 июля 2023 г. |
| Кодируемые данные | 230605s2023||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-plma23_no3/4_ss44_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
621.3.049.77 678.674 |
| Индекс ББК |
32.844 35.732 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Терашкевич, Д. И. Российский государственный университет им. А. Н. Косыгина 070 |
|
|
Разработка эластичных полировальных материалов для процесса химико-механической планаризации Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, Г. М. Коваленко |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 47-48 (10 назв. ) |
| Аннотация | Разработаны условия получения эластичных полировальных материалов на основе растворов полиэфируретанов для химико-механической планаризации полупроводниковых кремниевых пластин. Предложены условия модификации нетканых материалов, пропитанных растворами полиэфируретанов, путем их дополнительной обработки смесью ДМФА с водой. В результате реализации предложенной технологии получены образцы, имеющие волокнисто-пористую структуру, идентичную структуре материала TWI-817. Показано, что в разработанных полировальных материалах полиуретан обеспечивает адгезионную связь полиэфирных волокон поверхностного и объемных слоев, а также покрывает поверхность синтетических волокон, тем самым уменьшая вероятность их прилипания к поверхности полировальных пластин. Благодаря дополнительной обработке полученные полировальные материалы практически не имеют микротрещин, обеспечивают более длительный срок эксплуатации, приводят к более равномерному профилю полировки и способствуют получению полупроводниковых пластин с меньшим количеством дефектов. |
| Источник рубрики |
ОАО "Монтем" AR-MARS Монтем, ОАО AR-MARS ОАО Монтем AR-MARS НПО "Полимерсинтез" AR-MARS Полимерсинтез, НПО AR-MARS НПО Полимерсинтез AR-MARS |
|
Радиоэлектроника AR-MARS Радиоаппаратура AR-MARS Химическая технология AR-MARS Синтетические волокна AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
волокнистые материалы микроэлектроника модуль упругости при сжатии нетканые волокнистые материалы нетканые материалы оптическая интерферометрия планаризация химико-механическая пластины полируемые полировальные материалы полируемые пластины полиуретаны полиэфируретаны пористые структуры структурообразование фазовое разделение химико-механическая планаризация |
|
Бокова, Е. С. Российский государственный университет им. А. Н. Косыгина 070 Коваленко, Г. М. Российский государственный университет им. А. Н. Косыгина 070 |
|
| ISSN | 0554-2901 |
| Название источника | Пластические массы |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | № 3/4. - С. 44-48 |
|
RU 22013539 20230605 RCR |
|
|
RU 22013539 20230605 |
|
|
RU AR-MARS 20230605 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20230605 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
plma 2023 3/4 44 1 |
|
| 649 | |
| Применение |
