| Индекс УДК | 541.26-678 |
|
Анализ микроструктуры полировальных материалов на основе полиуретанов Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, А. С. Гинзбург, Г. М. Коваленко |
|
| Аннотация | В данной работе представлены результаты анализа пористой структуры полировальных материалов на основе полиуретанов, применяемых в процессе химико-механической планаризации слоев интегральных схем. |
| Название источника | Пластические массы |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | № 1/2. - С. 3-6 |
