| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | plma21_no1/2_ss3_ad1 |
| Дата корректировки | 11:35:32 29 июля 2021 г. |
| Кодируемые данные | 210629s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-plma21_no1/2_ss3_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Уральского государственного лесотехнического университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 541.26-678 |
| Индекс ББК | 35.719 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Терашкевич, Д. И. 070 |
|
|
Анализ микроструктуры полировальных материалов на основе полиуретанов Д. И. Терашкевич, Е. С. Бокова, А. С. Гинзбург, Г. М. Коваленко |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр. в конце ст. |
| Аннотация | В данной работе представлены результаты анализа пористой структуры полировальных материалов на основе полиуретанов, применяемых в процессе химико-механической планаризации слоев интегральных схем. |
|
Химическая технология AR-MARS Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
химико-механическая планаризация полировальные материалы полируемые пластины полиуретаны пористая структура пористость структурообразование интегральные схемы |
|
Бокова, Е. С. 070 Гинзбург, А. С. 070 Коваленко, Г. М. 070 |
|
| ISSN | 0544-2901 |
| Название источника | Пластические массы |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | № 1/2. - С. 3-6 |
|
RU 62013513 20210629 RCR |
|
|
RU 62013513 20210629 |
|
|
RU AR-MARS 20210629 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20210629 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
plma 2021 1/2 3 1 |
|
| 649 | |
| Структура и свойства |
