-
Получение гидрофобного пористого кремния с помощью металл-стимулированного травления в присутствии Pd-катализатора
Воловликова, О. В., Гаврилов, С. А., Силаков, Г. О., Железнякова, А. В., Дудин, А. А.
Получение гидрофобного пористого кремния с помощью металл-стимулированного травления в присутствии Pd-катализатора, О. В. Воловликова, С. А. Гаврилов, Г. О. Силаков [и др.]
// Электрохимия .-
2019 .-
Т. 55, № 12. - С. 1452-1462 .-
-
Влияние типа и степени легирования на морфологию por-Si, полученного гальваническим травлением
Пятилова, О. В., Гаврилов, С. А., Шиляева, Ю. И., Павлов, А. А., Шаман, Ю. П., Дудин, А. А.
Влияние типа и степени легирования на морфологию por-Si, полученного гальваническим травлением, [Электронный ресурс]
ил.,табл.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 2. - С. 182-186
Пятилова_влияние
-
Влияние температуры формирования на морфологию por-Si, получаемого методом Pd-стимулированного химического травления
Силаков, Г. О., Воловликова, О. В., Гаврилов, С. А., Железнякова, А. В., Дудин, А. А.
Влияние температуры формирования на морфологию por-Si, получаемого методом Pd-стимулированного химического травления, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 8. - С. 743-747
Силаков_влияние
