-
Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена
Пушкарев, Р. В., Файнер, Н. И., Голубенко, А. Н., Румянцев, Ю. М., Надолинный, В. А., Максимовский, Е. А., Коротаев, Е. В., Каичев, В. В.
Синтез пленок Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена, [Текст], Ч.II, Свойства пленок SiC[x]N[y]Fe[z], полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена
ил.
Физика и химия стекла, 2016, Т. 42, № 5. - С. 649-657
-
Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана
Файнер, Н. И., Голубенко, А. Н., Румянцев, Ю. М., Кеслер, В. Г., Максимовский, Е. А., Аюпов, Б. М., Кузнецов, Ф. А.
Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана, [Текст]
ил.
Физика и химия стекла, 2013, Т. 39, № 1. - С. 114-129
-
Трис(диэтиламино)силан - новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния
Файнер, Н. И., Голубенко, А. Н., Румянцев, Ю. М., Кеслер, В. Г., Аюпов, Б. М., Рахлин, В. И., Воронков, М. Г.
Трис(диэтиламино)силан - новое вещество-предшественник для получения слоев карбонитрида кремния, [Текст]
ил.
Физика и химия стекла, 2012, Т. 38, № 1. - С. 22-38
