-
Кинетические характеристики процессов под действием электронного удара BCl[3]
Ефремов, А. М., Шабадаров, С. С.
Кинетические характеристики процессов под действием электронного удара BCl[3], [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2016, Т. 59, Вып. 3. - С. 31-34
-
Параметры и состав плазмы CF[4]+O[2]+Ar и CHF[3]+O[2]+Ar в процессах реактивно-ионного травления
Ефремов, А. М., Kwang-Ho Kwon, Соболев, А. М., Бетелин, В. Б.
Параметры и состав плазмы CF[4]+O[2]+Ar и CHF[3]+O[2]+Ar в процессах реактивно-ионного травления, А. М. Ефремов, А. М. Соболев, В. Б. Бетелин, Kwang-Ho Kwon
5 рис., 2 табл. .-
// Известия вузов. Химия и химическая технология .-
2019 .-
Т. 62, вып. 12. - С. 108-118 .-
-
Кинетика и концентрации нейтральных частиц в плазме тлеющего разряда постоянного тока в метане
Семенова, О. А., Ефремов, А. М., Баринов, С. М., Светцов, В. И.
Кинетика и концентрации нейтральных частиц в плазме тлеющего разряда постоянного тока в метане, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2014, Т. 57, № 7. - С. 46-49
-
Излучение плазмы хлористого водорода
Давлятшина, А. А., Пивоваренок, С. А., Дунаев, А. В., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Излучение плазмы хлористого водорода, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2011, Т. 54, № 4. - С. 22-25
-
Сухое травление алюминия в хлоре
Пивоваренок, С. А., Дунаев, А. В., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Сухое травление алюминия в хлоре, [Текст]
ил.4
Химия и химическая технология. Известия вузов , 2008, Т.51, № 11.- С. 17-21
-
Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре
Пивоваренок, С. А., Дунаев, А. В., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре, [Текст]
ил.3
Химия и химическая технология. Известия вузов , 2008, Т.51, № 11.- С. 70-73
-
Электрофизические параметры и концентрации заряженных частиц в плазме смесей метана с аргоном
Ефремов, А. М., Семенова, О. А., Баринов, С. М.
Электрофизические параметры и концентрации заряженных частиц в плазме смесей метана с аргоном, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2014, Т. 57, № 8. - С. 7-11
-
Электрофизические параметры и эмиссионные спектры плазмы тлеющего разряда в хлористом водороде
Пивоваренок, С. А., Дунаев, А. В., Мурин, Д. Б., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Электрофизические параметры и эмиссионные спектры плазмы тлеющего разряда в хлористом водороде, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2011, Т. 54, № 9. - С. 48-52
-
Кинетические и транспортные характеристики процессов под действием электронного удара в метане
Семенова, О. А., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Кинетические и транспортные характеристики процессов под действием электронного удара в метане, [Текст]
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2012, Т. 55, № 7. - С. 44-47
-
О механизмах увеличения степени диссоциации HCl в плазме тлеющего разряда
Ефремов, А. М., Мурин, Д. Б., Беляев, С. В.
О механизмах увеличения степени диссоциации HCl в плазме тлеющего разряда, [[Текст]], А. М. Ефремов, Д. Б. Мурин, С. В. Беляев
3 рис.
// Известия вузов. Химия и химическая технология .-
2018 .-
Т. 61, вып. 7. - С. 62-67 .-
-
Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], Cl[2] и HBr+Ar
Ефремов, А. М., Kwon, K.-H., Шабадарова, Д. А.
Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], Cl[2] и HBr+Ar, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Известия вузов , 2016, Т. 59, Вып. 10. - С. 11-18
-
О влиянии температуры газа на кинетику нейтральных частиц в газоразрядной плазме хлористого водорода
Ефремов, А. М., Беляев, С. В., Титова, Е. С.
О влиянии температуры газа на кинетику нейтральных частиц в газоразрядной плазме хлористого водорода, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2015, Т. 58, № 12. - С. 25-29
-
Спектральное исследование плазмы тлеющего разряда в метане и его смесях с аргоном
Баринов, С. М., Светцов, В. И., Ефремов, А. М.
Спектральное исследование плазмы тлеющего разряда в метане и его смесях с аргоном, [Текст]
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2013, Т. 56, № 1. - С. 62-65
-
Интенсивности излучения и концентрации активных частиц в плазме тлеющего разряда в смесях хлористого водорода с аргоном и гелием
Мурин, Д. Б., Ефремов, А. М., Светцов, В. И., Пивоваренок, С. А., Овцын, А. А., Шабадаров, С. С.
Интенсивности излучения и концентрации активных частиц в плазме тлеющего разряда в смесях хлористого водорода с аргоном и гелием, [Текст]
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2013, Т. 56, № 4. - С. 29-32
-
Электрофизические параметры плазмы тлеющего разряда постоянного тока в смесях HCl-O[2]
Ефремов, А. М., Давлятшина, А. А., Светцов, В. И.
Электрофизические параметры плазмы тлеющего разряда постоянного тока в смесях HCl-O[2], [Текст]
ил., табл.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2012, Т. 55, № 4. - С. 71-75