| Индекс УДК | 66.02 |
|
Параметры и состав плазмы CF[4]+O[2]+Ar и CHF[3]+O[2]+Ar в процессах реактивно-ионного травления А. М. Ефремов, А. М. Соболев, В. Б. Бетелин, Kwang-Ho Kwon |
|
| Объем | 5 рис., 2 табл. |
| Аннотация | Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF[4]+O[2]+Ar и CHF[3]+O[2]+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и вызывает резкое (до двух порядков величины при 20 % О[2]) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF[3]+O[2]+Ar. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 62, вып. 12. - С. 108-118 |
