Поиск

Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], Cl[2] и HBr+Ar

Авторы: Ефремов, А. М. Kwon, K.-H. Шабадарова, Д. А.
Подробная информация
Индекс УДК 537.525
Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], Cl[2] и HBr+Ar
Текст
Химия и химическая технология. Известия вузов
2016
Т. 59, Вып. 10. - С. 11-18