Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре
Поиск

Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре

Авторы: Пивоваренок, С. А. Дунаев, А. В. Ефремов, А. М. Светцов, В. И.
Подробная информация
Индекс УДК 537.525
Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре
Текст
Химия и химическая технология. Известия вузов
2008
Т.51, № 11.- С. 70-73