-
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники
Достанко, Анатолий Павлович, Завадский, С. М., Ланин, В. Л., Мадвейко, С. И., Мельников, С. Н., Петлицкий, А. Н., Петухов, И. Б., Пилипенко, В. А. , Солодуха, В. А., Телеш, Е. В.
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники, Национальная академия наук Беларуси, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; под общ. ред. акад. А. П. Достанко, [Текст]
Минск :
Беларуская навука ,
2020 .-
259, [1] с. .-
цв. ил., табл.
Авт. указаны на обороте тит. л. .-
-
Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники
Жарин, А. Л., Петлицкий, А. Н., Пилипенко, В. А. , Тявловский, А.К. , Тявловский, К. Л., Гусев, О. К., Воробей, Р. И. , Пантелеев, К. В.
Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники, [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 78-80, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
-
Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке "УБТО 1801"
Соловьёв, Я. А., Пилипенко, В. А. , Яковлев, В. П., Хлопков, Н. С. , Гринцевич, Е. В., Сарычев, О. Э.
Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке "УБТО 1801" , [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 313-315, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
