| Индекс УДК | 621.382.049.77:001.895 |
| Автор | Достанко, Анатолий Павлович |
|
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники Национальная академия наук Беларуси, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; под общ. ред. акад. А. П. Достанко Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Объем | 259, [1] с. |
| Примечание | Авт. указаны на обороте тит. л. |
| Аннотация | В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. |
| Ключевые слова | субмикронная электроника |
| Другие авторы | Аваков, Сергей Мирзоевич |
