| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/704544854 |
| Дата корректировки | 13:44:37 5 мая 2022 г. |
| ISBN | 978-985-08-2521-6 |
| Вид содержания и средства доступа | 15-00 |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049.77:001.895 |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | И66 |
| Автор | Достанко, Анатолий Павлович |
| Полное имя | Достанко, А. П. |
|
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники Национальная академия наук Беларуси, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; под общ. ред. акад. А. П. Достанко Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Объем | 259, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | цв. ил., табл. |
| Примечание | Авт. указаны на обороте тит. л. |
| Аннотация | В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. |
| Ключевые слова | субмикронная электроника |
|
полупроводниковая микроэлектроника микроэлектроника ионно-лучевое распыление многокристальные модули лазерные технологии 3D-структуры полупроводниковые материалы инновационные технологии |
|
| Другие авторы | Аваков, Сергей Мирзоевич |
| Полное имя | Аваков, С. М. |
|
Голосов, Дмитрий Анатольевич Голосов, Д. А. Емельянов, В. В. Завадский, С. М. Колос, В. В. Ланин, В. Л. Мадвейко, С. И. Мельников, С. Н. Никитюк, Ю. В. Петлицкий, А. Н. Петухов, И. Б. Пилипенко, В. А. Плебанович, В. И. Солодуха, В. А. Соколов, С. И. Телеш, Е. В. Шершнев, Е. Б. |
|
| Организация/ юрисдикция | Национальная академия наук Беларуси |
| Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники | |
| Тип документа | m |
