Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Книги
  3. Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники
Поиск

Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники

Авторы: Жарин, А. Л. Петлицкий, А. Н. Пилипенко, В. А. Тявловский, А.К. Тявловский, К. Л. Гусев, О. К. Воробей, Р. И. Пантелеев, К. В.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 621.382
Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники
Текст
Место издания Минск
Издательство БНТУ
Дата издания оригинала 2020
Приборостроение - 2020
Минск : БНТУ, 2020
С. 78-80
RU/IS/BASE/672143416
978-985-583-587-6