| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/678034807 |
| Дата корректировки | 11:59:31 27 сентября 2023 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
|
Жарин, А. Л. А. Л. Жарин |
|
|
Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
|
производство микроэлектроники электрометрические измерения дефекты поверхности контактная разность потенциалов технологический контроль производства |
|
|
Петлицкий, А. Н. А. Н. Петлицкий Пилипенко, В. А. В. А. Пилипенко Тявловский, А.К. А. К. Тявловский Тявловский, К. Л. К. Л. Тявловский Гусев, О. К. О. К. Гусев Воробей, Р. И. Р. И. Воробей Пантелеев, К. В. К. В. Пантелеев |
|
|
Белорусский национальный технический университет, г. Минск ОАО "ИНТЕГРАЛ" - управляющая компания холдинга "ИНТЕГРАЛ", г. Минск |
|
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 78-80 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
|
| Тип документа | b |
