| Индекс УДК | 621.78.014.5 |
|
Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке "УБТО 1801" Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 313-315 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
