| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/684333364 |
| Дата корректировки | 13:31:20 7 сентября 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.78.014.5 |
|
Соловьёв, Я. А. Я. А. Соловьёв |
|
|
Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке "УБТО 1801" Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
|
быстрая термическая обработка кремниевые пластины моделирование нагрева уравнение теплопроводности температуры фазовых переходов |
|
|
Пилипенко, В. А. В. А. Пилипенко Яковлев, В. П. В. П. Яковлев Хлопков, Н. С. Н. С. Хлопков Гринцевич, Е. В. Е. В. Гринцевич Сарычев, О. Э. О. Э. Сарычев |
|
|
ОАО «ИНТЕГРАЛ» – управляющая компанпия холдинга «ИНТЕГРАЛ», г. Минск ООО «Перспективные инновационные технологии», г. Минск |
|
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 313-315 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
|
| Тип документа | b |
