Поиск

Твердотельные сенсорные структуры на кремнии

Авторы: Ховив, А. М. Домашевская, Эвелина Павловна Тутов, Евгений Анатольевич Рябцев, Станислав Викторович Шапошник, Алексей Владимирович
Заказ Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/661357004
Дата корректировки 11:05:05 2 октября 2023 г.
ISBN 978-5-534-12792-8
Вид содержания и средства доступа 39-10
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.38:681.586(075.8)
Полочн. индекс 621.3
Авторский знак С31
Автор Ховив, А. М.
Титул (звания) д-р физ.-мат. наук, д-р хим. наук, проф.
Роль лиц ред.
Сенсорная электроника, датчики. Твердотельные сенсорные структуры на кремнии
учебное пособие для вузов : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по естественнонаучным направлениям
под ред. д-ра физ.-мат. наук, д-ра хим. наук, проф. А. М. Ховива
Текст
Твердотельные сенсорные структуры на кремнии
Место издания Москва
Издательство Юрайт
Дата издания 2020
Объем 202, [1] c.
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Серия Высшее образование
Примечание Авт. указаны на 6 с.
Аннотация В книге изложен анализ фундаментальных и прикладных свойств гетероструктур с сенсорными свойствами, изготовленных из современных материалов c различными по характеру и масштабу пространственно-энергетическими неоднородностями, нанокристаллических, аморфных, пористых, (микро)гетерогенных и гетерофазных, имеющих сложные профили распределения локализованных состояний на гетерограницах. Основное внимание уделено описанию низко- и высокочастотных вольт-фарадных и динамических вольт-амперных характеристик МДП- и МОП-структур с "активными" в отношении адсорбции/десорбции диэлектриками (SiO2, полиамид) и оксидами металлов (WO3, SnO2, PdO, NiO), которые можно эффективно использовать для диагностики сенсорных свойств.
Ключевые слова сенсорная электроника
датчики
твердотельные сенсорные структуры
сенсорные структуры
сенсоры
полупроводниковые структуры
полупроводники
кремниевые МОП-структуры
кремниевые гетероструктуры
гетероструктуры
Другие авторы Домашевская, Эвелина Павловна
Титул (звание) проф., д-р физ.-мат. наук
Полное имя Домашевская, Э. П.
Тутов, Евгений Анатольевич
проф., д-р хим. наук
Тутов, Е. А.
Рябцев, Станислав Викторович
д-р физ. мат. наук, ст. науч. сотрудник
Рябцев, С. В.
Шапошник, Алексей Владимирович
проф., д-р хим. наук
Шапошник, А. В.
Тип документа m