Индекс УДК | 621.38:681.586(075.8) |
Автор | Ховив, А. М. |
Сенсорная электроника, датчики. Твердотельные сенсорные структуры на кремнии учебное пособие для вузов : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по естественнонаучным направлениям под ред. д-ра физ.-мат. наук, д-ра хим. наук, проф. А. М. Ховива Текст |
|
Место издания | Москва |
Издательство | Юрайт |
Дата издания | 2020 |
Объем | 202, [1] c. |
Примечание | Авт. указаны на 6 с. |
Аннотация | В книге изложен анализ фундаментальных и прикладных свойств гетероструктур с сенсорными свойствами, изготовленных из современных материалов c различными по характеру и масштабу пространственно-энергетическими неоднородностями, нанокристаллических, аморфных, пористых, (микро)гетерогенных и гетерофазных, имеющих сложные профили распределения локализованных состояний на гетерограницах. Основное внимание уделено описанию низко- и высокочастотных вольт-фарадных и динамических вольт-амперных характеристик МДП- и МОП-структур с "активными" в отношении адсорбции/десорбции диэлектриками (SiO2, полиамид) и оксидами металлов (WO3, SnO2, PdO, NiO), которые можно эффективно использовать для диагностики сенсорных свойств. |
Ключевые слова | сенсорная электроника |
Другие авторы | Домашевская, Эвелина Павловна |