Твердотельные сенсорные структуры на кремнии
Ховив, А. М., Домашевская, Эвелина Павловна, Тутов, Евгений Анатольевич, Рябцев, Станислав Викторович, Шапошник, Алексей Владимирович
Сенсорная электроника, датчики. Твердотельные сенсорные структуры на кремнии, учебное пособие для вузов : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по естественнонаучным направлениям, под ред. д-ра физ.-мат. наук, д-ра хим. наук, проф. А. М. Ховива, [Текст]
Москва :
Юрайт ,
2020 .-
202, [1] c. .-
ил., табл.
Авт. указаны на 6 с. .-
