| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/610194800 |
| Дата корректировки | 10:42:44 3 мая 2019 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Перепелкина |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.216.3 |
| Автор | Достанко, А. П. |
|
Нанесение пленок ITO методом магнетронного распыления оксидных мишеней Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2012 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 10 назв. |
| Ключевые слова |
магнетронное распыление нанесение тонких пленок пленки оксида индия олова поверхностное сопротивление пленок прозрачные проводящие оксиды распыление оксидных мишеней тонкие пленки |
| Другие авторы | Завадский, С. М. |
|
Голосов Д. А. Евстафьева, М. В. Ли Динь Ви |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012 Кн. 1. - С. 80-87 RU/IS/BASE/605183427 978-985-6441-29-8 (кн. 1) |
|
| Тип документа | b |
