| Индекс УДК | 539.216.3 |
| Автор | Достанко, А. П. |
|
Нанесение пленок ITO методом магнетронного распыления оксидных мишеней Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2012 |
| Ключевые слова |
магнетронное распыление нанесение тонких пленок пленки оксида индия олова поверхностное сопротивление пленок прозрачные проводящие оксиды распыление оксидных мишеней тонкие пленки |
| Другие авторы | Завадский, С. М. |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012 Кн. 1. - С. 80-87 RU/IS/BASE/605183427 978-985-6441-29-8 (кн. 1) |
