Нанесение пленок ITO методом магнетронного распыления оксидных мишеней
Достанко, А. П., Завадский, С. М., Голосов Д. А., Евстафьева, М. В., Ли Динь Ви
Нанесение пленок ITO методом магнетронного распыления оксидных мишеней, [Текст]
Минск :
ФТИ НАН Беларуси ,
2012 .-
ил.
Современные методы и технологии создания и обработки материалов, Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012, Кн. 1. - С. 80-87, RU/IS/BASE/605183427, 978-985-6441-29-8 (кн. 1)
