| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/544789737 |
| Дата корректировки | 10:19:43 12 апреля 2018 г. |
| ISBN | 5-343-00540-3 |
| Вид содержания и средства доступа | 1-40 |
| Служба первич. каталог. |
Лапко БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049.774 |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Р86 |
|
Румак, Николай Владимирович Н. В. Румак |
|
|
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике Текст Академия наук БССР, Физико-технический институт ; под ред. д-ра физ.-мат. наук, проф. В. Е. Борисенко |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Навука і тэхніка |
| Дата издания оригинала | 1990 |
| Объем | 190, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Аннотация | Систематизированы данные о способах получения, методах исследования и свойствах диэлектрических пленок, применяемых в технологии изготовления интегральных схем на МДП-структурах. |
|
твердотельная микроэлектроника микроэлектроника диэлектрические пленки интегральные схемы термическое окисление кремния пленки диоксида кремния изолирующие слои пассивирующие слои |
|
| Другие авторы | Хатько, Вячеслав Владимирович |
| Полное имя | В. В. Хатько |
|
Академия наук БССР Физико-технический институт |
|
| Тип документа | m |
