| Индекс УДК | 621.382.049.774 |
|
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике Текст Академия наук БССР, Физико-технический институт ; под ред. д-ра физ.-мат. наук, проф. В. Е. Борисенко |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Навука і тэхніка |
| Дата издания оригинала | 1990 |
| Объем | 190, [1] с. |
| Другие авторы | Хатько, Вячеслав Владимирович |
