Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
Румак, Николай Владимирович, Хатько, Вячеслав Владимирович
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике, [Текст], Академия наук БССР, Физико-технический институт ; под ред. д-ра физ.-мат. наук, проф. В. Е. Борисенко
Минск :
Навука і тэхніка ,
1990 .-
190, [1] с. .-
ил., табл.
