Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
Колешко, Владимир Михайлович, Ковалевский, Александр Адамович
Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике, [Текст], Академия наук БССР, Институт электроники
Минск :
Наука и техника ,
1978 .-
342, [1] с. .-
ил., табл.