| Индекс УДК | 621.382.049.772 |
|
Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике Текст Академия наук БССР, Институт электроники |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Наука и техника |
| Дата издания оригинала | 1978 |
| Объем | 342, [1] с. |
| Аннотация | В книге сделан обзор практических и теоретических достижений в области создания и применения поликристаллических пленок кремния, германия, теллура, селена в микроэлектронике для изготовления полупроводниковых интегральных микросхем. |
| Другие авторы | Ковалевский, Александр Адамович |
